SK、フッ化水素直接製造…素材「脱日本」を開始した
SKマテリアルズ、年内のサンプル供給を目指し「エッチングガス」の生産準備
グループ次元「内在化」の意志を反映…来年上半期中に本格的に量産を期待
SKが半導体製造に使用される高純度フッ化水素国産化に電撃着手した。今月初め、日本政府の対韓国輸出規制の後に出てきた SKグループ次元の対応措置として、関連会社を通じた国産化カードを取り出した。日本の経済報復が拡大・長期化する公算が大きくなった中で、国内の半導体業界も隠しておいた戦略を一つずつ取り出している。
25日、業界によると、 SKグループの系列 SKマテリアルズが今年内サンプル供給を目指しフッ化水素生産準備に乗り出したことが確認された。
SKマテリアルズの関係者は「現在、関連生産設備を開発している」とし「今年末のサンプル供給が目標」と述べた。
SKマテリアルズが準備しているフッ化水素は「エッチングガス」だ。半導体回路を削るエッチング工程と、シリコンウェハーの異物を除去する洗浄工程用である。半導体製造には、液状形態のフッ化水素と気体の両方を組み合わせて使われる。液状製品が「エッチング液（Etchant）」であり、気体は「エッチングガス」だ。
SKマテリアルズは、独自の技術に基づいて気体の形のフッ化水素、すなわちエッチングガスを作って、半導体業界に供給するという計画である。サンプルが出てくる時点が、今年末であることを勘案すれば、本格的な量産と供給は来年上半期中と予想される。
SKマテリアルズは、1982年から半導体材料を専門にしてきた。半導体、ディスプレイ、太陽電池などに使用される三フッ化窒素（NF 3）を国内で初めて国産化に成功した。また、六フッ化タングステン（WF 6）のような蒸着ガス、石油化学・鉄鋼などに適用される産業ガスを供給している。
大白物産から出発して、2008年OCIに編入され、2015年にはSKがOCIマテリアルズを買収しSKグループの系列会社になった。SKマテリアルズがフッ化水素の製造に乗り出すのは初めてだ。
会社側は「これまで原料となるフッ素（F）を扱っていたし精密ガス技術力とノウハウが蓄積され、高純度フッ化水素を製造することができる基盤を備えたものと判断した」と伝えた。
生産能力（CAPA）などSKマテリアルズの具体的な投資規模は確認されなかった。また、品質の検証を経なければならず、実際の半導体プロセスに適用されるかどうかは未知数だ。
しかし、SKマテリアルズのフッ化水素事業への進出が日本政府の輸出規制措置の後、本格稼動されたという点が注目される。重要な半導体材料を内在化するというSKグループの意志が反映されたうえ、特に日本政府が輸出規制対象にあげたフッ化水素（エッチングガス）を直接製造すると出たからだ。内在化の割合が高いほど、日本の素材は、自然に立場を失うことになる。「脱日本化」の開始であるわけだ。
半導体業界の関係者は「日本産フッ化水素の供給がいつ再び正常化されるか不透明で、日本の経済報復が拡大、長期化する兆しを見せていることにより、SKハイニックス半導体事業の永続性を確保するためにSKグループ内の特殊ガス専門会社であるSKマテリアルズが出たのだろう」と説明した。
業界関係者によると、SKハイニックス、サムスン電子は、日本の経済報復を予想し、昨年から核心素材の国産化と供給先の多様化を準備していたことが分かった。
エッチングガスは、SKマテリアルズが国産化に本格的に乗り出した姿であり、エッチング液は、国内のソウルブレインが国産化の代替として挙げられている。ソウルブレインはすでにサムスン電子とSKハイニックスに独自開発したエッチングを納品しており、当初今年末に予定された増設を9月末に繰り上げたという。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
