「高純度塩化水素」も脱日本…「半導体素材の国産化」よどみない
白光産業、サムスン電子と品質評価
早ければ上半期中に量産ラインを適用
輸入依存の「核心素材」に代替期待
素材・部品・装備の全分野で国産開発に拍車
半導体の核心素材の一つである「高純度塩化水素（HCL）」が国産化される。 これまで輸入依存度が絶対的だった素材を国産に代替し、国内半導体素材産業の生態系が強化される契機になる見通しだ。 特に、日本への輸出規制措置以降続いてきた中核半導体素材の国産化が揺らぐことなく推進されており、注目を集めている。
8日、業界によると、国内化学メーカーの白光産業は、サムスン電子と共に高純度HCLを国産化する。 現在、量産ライン適用に向けた品質評価が進められており、早ければ上半期中にも承認の可否が決まる予定だ。
高純度HCLは、半導体ウェハーを洗浄したり、ウェハーを削る「エッチング」工程でエッチング液として使われる素材だ。 高性能システム半導体の増加に伴い、使用量が増えている。 サムスン電子が国内HCL需要の約80％を消費するほど、半導体産業の使用量が圧倒的だ。
しかし、高純度HCLはその大半を海外に頼ってきた。 日本の化学メーカー「東亞合成」とドイツの産業ガス専門メーカー「リンデ」が寡占供給した。 国内メーカーも一部商用化した事例があるが、品質問題を経験するなど、海外依存度を下げることができなかった。
これにより国産化の必要性が高まり、日本の半導体・ディスプレイ素材輸出規制以後、供給網再編が話題に浮上するにつれ、サムスン電子と白光産業の協力が急速に進み、生産準備まで終えたという。
白光産業の関係者は「（サムスン電子から）品質評価を受けている」とし「最終結果を見守らなければならないが、量産、供給する準備は終えた状況」と伝えた。
2019年7月、日本政府は韓国裁判所の強制徴用判決に対する報復措置として、フッ化水素、極紫外線（EUV）用フォトレジスト、フッ化ポリイミドの韓国への輸出を規制した。 韓国の主力産業である半導体、ディスプレイに影響を及ぼし、韓国政府を圧迫しようという意図だった。
しかし、日本の措置はサムスン電子、SKハイニックス、LGディスプレイなど国内企業の核心素材供給網再編を起こした。 輸出規制品目だったフッ化水素、EUV用フォトレジスト、フッ化ポリイミドの代替だけでなく、素材・部品・装備の全分野で需給の多角化と国産化を促進した。
高純度HCLもこのような一連の過程で開発に速度がついたもので、もう一つの国産化事例として記録されるかどうかが注目される。 日本輸出規制後、SKマテリアルズがフッ化水素ガスの国産化に成功し、ソウルブレイン、ENFテクノロジー、ラムテクノロジーは日本のステラケミファ、森田化学工業の液体フッ酸を代替した。
素材開発には「蓄積の時間」を要する。 半導体産業の特性上、開発に成功しても綿密な品質検証が必要、実際の適用まで長くかかる。 また、素材のみならず、半導体部品や装備共に長期投資が必要となり、表に現れる成果は小さく見えるが、国産化への努力や試みは今も各分野で続いている。
LOT VACUUMは、英エドワードやドイツのレイボルド、日本の島津など、海外メーカーが寡占するターボ（高真空）ポンプの生産に挑戦している。 東進セミケムはEUV用フォトレジスト、ミコセラミックスは半導体装備の核心部品であるセラミックヒーターをそれぞれ開発している。 サムスン電子も、KCテックやLOT VACUUM、ミコ、ニューパワープラズマ、FSTなどに投資し、半導体素材・部品・装備や産業生態系の強化を積極的に推進している。
国内半導体素材業界の関係者は「日本との緊張関係が依然として続いており、半導体業界にとって需給多角化と供給網強化は依然として重要なテーマ」とし「これにより国産化の努力が一回性にとどまらず、持続的に国内産業の発展の機会として作用するようだ」と述べた。
スレ主韓国人
本当に思いっきり素材の国産化が進行してる感じ。
これまでよくない知られていなかった私たちの中小素材メーカー大当たりしそう。
ありがとう安倍ｗｗｗ
ttps://bit.ly/2N2xhgE
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
