「お客様いる場所に」…日本半導体企業、次々と「韓国行き」
TOK、EUVフォトレジストの韓国生産に突入
日本の輸出規制が始まってから1年。 予想とは違った雰囲気が流れている。 国内半導体業界への攻撃は、かえって日本の足を引っ張っている格好だ。 日本半導体企業は自国政府の規制を逃れ、韓国に渡っている。
2日、業界によると、日本東京応化工業（TOK）は仁川松島工場で極紫外線（EUV）用フォトレジスト（PR）の生産を始めた。 EUVは、従来の工程より光の波長が短く、半導体の微細化に欠かせない技術だ。
PRは半導体露光工程で活用される。 ウェハーの上に塗って露光装備で光を当てると、光の露出に反応して化学的性質が変わり、回路パターンが刻まれる。 PRはフッ化クリプトン（KrF）、フッ化アルゴン（ArF）、EUVによって性質の違いがある。 EUVは最も高い技術力を要求し、TOK、JSR、信越化学など日本のメーカーが掌握している。
サムスン電子もEUVPRはTOKから需給している。 輸出規制当時、3品目に含まれ、素材確保への懸念もあった。 ただ、EUV工程を導入したメーカーは、サムスン電子とTSMC程度であり、供給会社としても特定顧客会社への依存度が高いのが現状だ。 サムスン電子を逃せば、業績の下落は避けられないという意味だ。
米デュポンが忠清南道天安にEUVPR生産施設を設置し、トンジンセミケムとSKマテリアルズなどがPR事業を強化した部分もTOKの決定に影響を与えた。 これらのメーカーの技術力はまだ足りないが、サムスン電子と協力した場合、開発スピードを上げることができる。 自国政府の基調にもTOKが国内法人でEUVPRを生産するようになった理由だ。
半導体業界の関係者は「一連の状況の中でTOKも危機感を感じたはずだ」とし、「さらに遅れると、サムスン電子という大手顧客企業を失うことになるため、積極的にEUVPRの国内生産を検討したと聞いている」と説明した。
この他にも複数の日本企業が韓国に移動している。 サムスン電子とSKハイニックスを獲得するためだ。
太陽ホールディングスは今年5月、忠清南道唐津に半導体パッケージング・ディスプレイ用ドライフィルム型ソルダーレジスト生産工場を建設すると発表した。 5年間170億ウォンを投資する。 太陽ホールディングスは全世界のソルダーレジストの80％以上を担当している。 今回の決定で、これまで日本から全量を輸入していたドライフィルムを国内で生産することになった。 ソルダーレジストはプリント配線板（PWB）の回路パターンを保護する絶縁コーティング材料で、電気的不良防止や絶縁性の確保に不可欠だ。
半導体装置用の石英ガラスを製造する東ソーは韓国法人を設立、来年の製品量産が目標だ。 グローバル装備会社・東京エレクトロン（TEL）は、サムスン電子の平沢キャンパス周辺にテクニカルセンターを新設し、支援射撃に乗り出す。
ADEKAは全羅北道全州で高誘電材料などを生産する方針だ。高誘電は回路漏えい電流を遮断する役割を果たす。 DRAM工程の微細化により使用量が増える素材で、現地生産製品をサムスン電子に供給するという。
関東電化工業は忠清南道天安新工場の稼動を始めた。 半導体工程で使用される特殊ガス硫化カルボニルを生産する。 該当工場内に研究施設も設け、顧客企業の対応力を高める計画だ。 これまで硫化カルボニルは韓国で生産されなかった。
他の関係者は「輸出規制以降、フッ化水素、ポリイミドなどを主力する日本企業が実績不振を経験している」とし、「サムスン、SKなど主要顧客との関係を維持するため、今後も韓国内に移転しようとする日本の半導体企業が増える見通しだ」と分析した。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
