【行く道遠い素材部品の国産化②】放射光加速器、日本20基vs韓国2基…「韓国、待機長く使いたくても使えない」
基礎研究施設不足
浦項設備1年使用者4千人
日本は、半導体製造プロセスに不可欠ないくつかの材料の中で「極紫外線（EUV・ Extreme Ultra-Violet）フォトレジスト（PR）」を規制対象に上げた。サイズが小さいながらも多くの情報を格納することができる次世代半導体コア材料に分類される EUV PRを作成するには、放射光加速器が必要である。
放射光加速器とは、電子を光の速度で加速させるときに運動軌道を捻じ曲げて強力かつ多様な光を作り出す装置だ。EUVからエックス線、強いX線まで様々なエネルギーの「光」を作り出すだけに「光の工場」と呼ばれることもある。
日本が次世代半導体製造の核心素材である EUV PRを確保することができたのは、1990年代以降、放射光加速器で作られた EUVを利用して着実に研究してきたからである。日本は9基の放射光加速器を保有しているだけでなく、3基追加で構築する計画である。大学が運営する小規模な放射光加速器まで合わせれば、放射光加速器が総20余基に達する。
一方、韓国が保有する放射光加速器はわずか2基に過ぎない。韓国は1995年浦項に円形放射光加速器を竣工した後、2016年にその隣にX線自由電子レーザー（XFEL）線形加速器を建設運営している。しかし、建設してから20年が過ぎた円形放射光加速器は、パフォーマンスの面で国際競争力が著しく落ちた状態だ。
イ・ヂュハン基礎科学支援研究院主任研究員は、「米国、日本、欧州などの半導体の先進国はすでに1990年代から放射光加速器を用いてEUV用PR研究を開始した」とし「放射光加速器は産業と最も密接な施設であるだけでなく、部品・素材産業に必須だが、高価という理由で韓国はわずか2基にとどまっている」と述べた。放射光加速器1基を建設するために必要なお金は1兆ウォンに達する。現在、浦項の放射光加速器でも一部EUVを作り出すことができるが、利用者が多く、実験することができる時間は、午前3～5時などに極めて制限されている。現在浦項放射光加速器を利用する研究者が、1年に4000人にのぼる。
イ主任研究員は、「韓国の放射光加速器利用者は飽和状態で、国内企業が使いてたくても使うことができない状態になった」とし「浦項放射光加速器を使用出来ない企業が日本に行って分析をする厳しさを経験している」と指摘した。
それと共に彼は「中国、日本、台湾、英国、米国などが、1980年代から放射光加速器を作って、通常30年ほどで寿命が尽きる前にアップグレードされた加速器を研究者に提供することと比較すれば、韓国の研究環境は厳しい」と訴えた。
一歩遅れて放射光加速器の重要性を悟った政府は急いで加速器の建設に力を入れる姿だ。現在、忠清北道中部圏に次世代放射光加速器の構築事業の実現可能性調査に着手して報告会を開き、予備妥当性企画調査を開始した。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
