国産「超高純度フッ化水素」技術、8年前に開発出来ていたが光すら見られなかった
特許庁、超高純度フッ化水素特許2011年受付
日本産に匹敵する99.999999999％の技術の特許を通過
開発者である中小企業、条件上投資ができず、事業化に失敗
大・中小企業「共生生態系」の不在が原因
半導体プロセスに使われる「超高純度フッ化水素」を作る技術が国内でもすでに8年前に開発されたことが確認された。超高純度フッ化水素は、日本が韓国を狙って輸出規制措置を下した3つのコア素材の一つである。技術の核心は、フッ化水素中の不純物の割合を100億分の1以上減らすことだ。サムスン電子、SKハイニックスから輸入する日本産フッ化水素と匹敵する純度である。
しかし、この技術は、光を見られなかった。技術開発に成功した中小企業は販路がはっきりしていない状況で、巨額を投じて生産設備を構築することができなかった。購入する大企業が存在しない場合、莫大な損失だけ抱えるからだ。これに国内産業生態系の粗末な共生構造が素材・部品産業の競争力の足を引っ張ったという批判が出ている。
22日特許庁特許情報検索サービス（KIPRIS）によると、超高純度フッ化水素を製造する国内技術1件が特許登録されている。中小企業A社が2011年7月に登録した技術である。 A社は、半導体のエッチング（腐食加工）工程のフッ化水素の製造技術を実験的に証明した。特許庁は、審査後、この技術に特許を付与して、2013年1月に公開した。
この技術は、半導体のエッチング処理に適した超高純度フッ化水素を得るために、超音波バイブレーターを活用した。純度が低いフッ化水素中に混ざっている不純物を除去するために添加剤である過酸化水素などを入れて超音波処理をする。
6つの方法で実験した結果、特定の実験では、フッ化水素中の不純物の割合は、少なくとも10億分の1以上、最大100億分の1以下まで下がった。半導体プロセスに使うことができる「純度99 .999999999％」以上のフッ化水素抽出をやり遂げたのだ。業界関係者は、「通常、100億分の1や1000億分の1程度の純度がなければ使うことができない」とし「この技術で精製すれば可能だろう」と説明した。
しかし、この技術は、事実上、死蔵された。生産を試みる前に、投資障壁が立ちはだかった。超高純度フッ化水素を生産・販売する工場を建設することはもちろん、高価な分析機器などを備えなければならない。移送過程での汚染を防ぐ特殊容器も必要である。ここに必要な資金は少なくない。特許を出願したA社のB代表は、「すべて高価装備」で「数十億から100億ウォン以上もの設備投資費用がかかる」と述べた。
その上、不毛な産業の生態系が障害になった。超高純度フッ化水素を必要とする企業でも、すぐに製品を使うことができない。半導体プロセスに適しているか6ヶ月～1年程度の試験が必要である。
資金余力が豊富な大企業は、この時間を待つことができ、たとえ失敗しても受ける衝撃が少ない。一方、中小企業は、今後の販売が可能かどうかが不明な製品の大規模な投資を決定するのは難しい。 A社の昨年の売上高は100億ウォンに及ばなかった。 B代表は「大企業の立場では、すでに使用されている日本産フッ化水素を使えば良く、あえて私たちの製品に変える理由がなかった」と述べた。
だからといって、政府が研究・開発（R＆D）のほか、施設投資予算の対応も容易ではない。このような大規模な設備投資負担のために死蔵された技術は1個や2個ではないという。 B代表は「超高純度フッ化水素のほか、素材・部品分野で、このような事例がたくさんある」とし「政府ができることかは分からない」とした。元産業通商資源部の関係者は、「大企業が中小企業と共存しようとしなかった根本的限界が日本の輸出規制という事態を招いたのではないかと思う」と批判した。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
