日本政府、フッ化水素輸出条件としてサムスン電子最先端工程資料の要求
製造工程図・配置図などの機密資料に言及…専門家・業界「受け入れられない」
[アイニュース24、ジョソ・クグン記者]日本政府がフッ化水素輸出条件を掲げ、サムスン電子とSKハイニックスを相手に、半導体製造工程上敏感な資料を要求したことが分かった。
先立って日本政府は、先月4日、半導体材料などの3種（EUVフォトレジスト、高純度フッ化水素、フッ化ポリイミド）の対韓国輸出規制を開始した。以後、日本政府は、3種の中で唯一、高純度フッ化水素については、輸出規制を解かないでいる状況である。
これは日本政府がサムスン電子とSKハイニックスの最先端プロセス資料を要求するための意図が敷かれているという分析だ。
26日、半導体業界と関連専門家によると、日本政府はサムスン電子とSKハイニックスを相手に純度99.999％以上のフッ化水素を使用する半導体プロセスの詳細な技術図はもちろん配管、設備配置図など最先端プロセスを要求したことが確認された。国内半導体メーカーの重要な機密事項だが、これを自国フッ化水素メーカーに要求したものであり、かなりの議論が予想される。
◆日本「フッ化水素許可サムスン・ハイニックス工程図・配置図が必要」
産業通商資源部傘下の戦略物資管理院側は「日本経済産業省が高純度フッ化水素関連個別許可申請企業に貨物需要者の当該貨物調達実績と最終製品の生産状況に関する資料をワード、PDFファイルなどの形で要求した」と伝えた。
また、この貨物を使用する工場の最終製品の製造工程に関する資料も要求した。このような提出書類は、輸出規制素材3種のEUVフォトレジストとのフッ素化ポリイミドにはない提出リストである。
日本政府は、先月4日から韓国に輸出されているこれらの品目については、従来の包括許可から個別許可体制に転換した面白い点は、個別許可を得るための条件が戦略物資の輸出優遇国（ホワイト国）ではない第3国の既存の個別許可ともその内容が全く違うということである。
既存の個別許可を得るためには、申請書、理由書、契約書などの3種の書類が要求されるが、現在韓国の輸出規制素材3種については、製品の具体的な仕様と資料を含む、少なくとも7種以上の書類を要求している。注目される部分が国内の半導体及び素材メーカーを指す「需要」の内容である。
高純度フッ化水素は「エッチングガス」という名称で半導体回路に刻む「エッチング」工程に使用される。フッ化水素自体は、半導体製造工程、特に不純物除去のための洗浄作業に多様に使用される。高純度フッ化水素は、その中でも、高度な精度を必要とするいくつかの工程にのみ活用される。半導体完成品の品質に直結する部分である。
素材3種について、日本政府が需要者と関連要求する資料の内容は、一般的に、需要者の事業内容と確認書類、戦略物資の輸出に関する誓約書などである。具体的書類提出のリストは、登記簿、会社案内公表資料、調達実績、過去3年間の最終製品生産状況など、企業の立場では公開するのは難しい内容ではない。
ただし有毒高純度フッ化水素については、日本政府が製造工程に関する資料も求めている。戦略物資管理院が翻訳した日本政府の輸出規制案内文によると、日本政府は、高純度フッ化水素メーカーに「プラントの最終製品の製造フローに関する資料」を求めている。より具体的には、製造工程を示したブロック図、製造工程マニュアルなどである。
ここでなお、「ブロック図などの画像で表す場合は、貨物を使用するところとその貨物の数量を知ることができるよう注釈を付けること」と言及した。また、「その貨物の数量を確認できる技術資料」を提出することに言及している。詳細な例として、配管系統図、配置図などを挙げているが、高純度フッ化水素使用工程の詳細を渡してほしいということと相違ない解釈が出ている。
産業研究院の新産業室ジャン・ソクイン先任研究員は、「高純度フッ化水素はEUVフォトレジストより全工程（半導体回路の製造工程）多くの分野で使用される」とし「サムスンの次世代システム半導体など主要工程のすべての技術内容を欲しいということと同じ」と指摘した。
半導体業界の関係者は、「輸出許可はもちろん、取引契約では決して一般的ではない内容であることは明らかである」と述べた。業界の専門家は、「輸出許可ボタンは、日本政府が押すな状況であるだけに、実際に要求することができることだ」と語った。
◆「日本企業が迂回輸出により熱心に」
今回の輸出規制対象のフッ化ポリイミドの場合、ディスプレイでも折りたたみスマホに使用される。今年の年末までに国内メーカーに置き換えられる可能性が大きく実際の産業現場で感じる打撃が大きくないと見るが、EUVフォトレジスト、高純度フッ化水素などの半導体材料の2種は今回の輸出規制の重要な対象である。
日本政府は、今月に入ってEUVフォトレジストの輸出許可を2件出した。高純度フッ化水素に対してまだ輸出許可がなされていない状況である。半導体業界によると、日本政府のこのような動きは、高純度フッ化水素企業の需要者資料要求の内容と無関係ではないというものである。
輸出規制の直接の対象は、韓国に輸出する日本企業である。森田化学、ステラケミファ、昭和電工など、日本の精密化学メーカーである。これらの輸出許可を得るためには、サムスン電子、SKハイニックスなど顧客の機密資料を日本政府に渡すというジレンマが発生する。国内の半導体メーカーが資料を渡すのは難しいうえに、日本企業の立場では、顧客との信頼毀損問題も発生する。
日本の輸出規制関連企業の中で、高純度フッ化水素企業が、日本政府の輸出審査を避ける迂回輸出の確保に積極的な点もこのためと解釈される。森田化学の場合、中国の上海現地施設を通じた高純度フッ化水素の生産を推進していることが分かった。ステラケミファは、中国、シンガポールなどの生産設備を活用して韓国に輸出する案を推進中だ。
昭和電工の場合、サムスン電子中国法人への輸出許可を今月初めに得ている。今回の韓国への個別許可審査は、最終到着地がターゲットである。最終的な使い道が韓国の素材生産工場である場合である。日本政府は、日本以外の地域で生産したり、韓国系企業の中国など海外工場に輸出する迂回輸出の問題では、事実上、手を出せないというのが業界の見方だ。
業界の専門家は、「高純度フッ化水素は保管期間が4ヶ月程度であるが輸出規制の後、すでに2ヶ月ほどが経った」とし「期限内に売らなければ損失が大きくなるわけで、日本企業が迂回輸出を見つけるために積極的なものと思われる。私たちとしては不利ではない状況だ」と述べた。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
