韓国人「日本企業、韓国でEUVフォトレジストの生産開始…安倍政府の規制を避けるためか？」

日本企業、韓国で「EUVフォトレジスト」の生産…安倍政府の規制を避けるためか

「EUV（極紫外線）用フォトレジスト」を生産する日本企業TOKが国内で生産を開始したことが分かった。EUV用フォトレジストは、日本政府が昨年7月から輸出を規制した品目のひとつである。

日本政府は昨年7月、半導体・ディスプレイ製造に必要な重要な素材であるフォトレジスト、フッ化水素、フッ素ポリイミドなどの3つの項目を一般包括許可対象から個別許可対象に変えた。

1日、業界によると、TOK側は国内のある媒体にTOKグループTOK先端材料株式会社（韓国法人名）でEUV用フォトレジストを製造しており、製品を適時に提供することができる内容の書面を送った。

TOK韓国法人で生産したEUV用フォトレジストは、サムスン電子半導体工程に適用テストが行われていると伝えられた。

EUV用フォトレジストは、サムスン電子が非メモリラインで使用する材料である。SKハイニックスの場合は、DRAMなどメモリー半導体事業が主力である点を勘案すれば、サムスン電子が日本企業が韓国現地で生産したEUVフォトレジストに関心を示すと思われる。

半導体業界のある関係者は、「生産工程に適用テストをするには、量産ラインでなければならない」とし「EUV用フォトレジストを使うのはサムスンしかないだろう。SKハイニックスの場合EUVフォトレジストを研究用に少量使う程度」と述べた。

サムスン電子の関係者は、「これについて確認できない」と述べた。

最近、日本の半導体素材企業が韓国で生産を拡大している。

日本の関東電化工業は、半導体用特殊ガスである「硫化カルボニル」を天安工場で生産を開始した。半導体用フィルムであるソルダーレジストの全世界シェア1位の会社大洋ホールディングスは5月に唐津投資を発表した。

Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ