日本独占半導体用フッ化水素国産化加速
標準硏、国内企業向け半導体用フッ化水素品質評価開始
これまで、全てを日本からの輸入に頼ってきたフッ化水素の国産化に拍車がかかる見通しだ。
韓国標準科学研究院は22日、国産フッ化水素など半導体用高純度ガス素材の品質評価設備を完成させ、フッ化水素に対する品質評価を開始すると発表した。
標準研は、日本の半導体素材の輸出規制に対応するため、昨年8月から設備構築を推進してきた。 分析装備費8億ウォン、施設構築費7億ウォンなど緊急独自予算15億ウォンを使って実験室を完工した。
今回の実験室の構築を通じて、半導体用高純度ガスに対する信頼性のある試験結果を提供できるようになった。 国内半導体用ガス素材開発会社と半導体製造会社など関連産業全般の競争力向上が期待される。
フッ化水素は、半導体の基盤であるウェハーの洗浄やエッチング工程に使われる。 半導体の製造収率を高めるためには高純度のフッ化水素が必要だ。 高純度フッ化水素は、昭和電工や森田化学工業、ステラケミファなど、日本のメーカーが世界市場を独占している。
国内の高純度フッ化水素の純度検証法は、メーカーごとに異なっており、標準化されていない。 標準研で国産フッ化水素の品質評価を行う実験室を設け、これを解決できるようになった。 使用される測定技術と標準物質を自社開発したという点でより大きな意義がある。
フッ化水素の品質評価は、不純物を測定して純度を決める方法で行われる。 シリンダーに入っている液体状態のフッ化水素を気体化し、ガスの組成を分析する。 気体クロマトグラフと「フーリエ変換」赤外線分析器を利用して10種余りの気体状不純物を分析し、誘導結合プラズマ質量分析器で20種余りの金属成分不純物を分析して最終純度を決定する。 開発メーカーは標準研の分析結果を自社製品と比較して、不足な点を改善することができる。
標準研はこれと関連した標準試験手続きで開発を来年上半期に完了し、20種あまりのガス素材に対する分析法の開発を年次的に進める予定だ。 また、国内企業と協議体を構成して熟練度試験を開催するなど、国内ガス素材企業の技術自立化支援に努める見通しだ。
パク・ヒョンミン標準研院長は「昨年下半期から『日本輸出規制積極対応委員会』を運営し、素材・部品・装備に対する信頼性評価技術などを支援してきた」とし「標準研が持つ世界最高水準の測定技術を土台に関連産業の国家競争力向上に貢献する」と述べた。
Source: かんこく！韓国の反応翻訳ブログ
